日本進口Osaka Vacuum大阪真空TG1400F渦輪分子泵

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■ 靈活的安裝姿勢 ■ 緊湊的尺寸 ■ 節(jié)能 ■ 快速啟動 ■ 結構耐大氣層侵入 ■ 可進行串行通信 ■符合安全標準 NRTL/SEMI-S2/CE 用 ?半導體制造 ?電子槍排氣、離子源排氣 ?FPD 制造 ?表面處理、表面改性 ?各種電子元件的制造 ?分析、檢測設備 ?管材、光學元件的制造 ?加速器、放射線設施、聚變研究 ?熱處理 ?研發(fā) * 排放腐蝕性氣體時，請選擇化學相容性 TG-M 或 TG 系列。